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檢測儀器 >> LED藍寶石碳化硅質量檢測儀器 >> 平整度測試系統:OWT-200
                

 

 

產品簡介:

    OWT-200平整度測試系統,采用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特征,在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等,可在線和離線測量。

 

產品特點:
 厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量;
 無接觸測量;
 無需校準;
 高精度、高重復性;
 樣品臺可選:4寸、6寸、8寸;
 強大的分析軟件,可顯示3D表面形貌;
 同時進行各種參數的測量,具備超高的測試速度;

 

技術參數:
 TTV
     精確度:±0.1um
     重復性精度:0.01um

 厚度
     精確度:±0.2um
     重復性精度:0.1um
     測試范圍:50-2000um

 翹曲度/彎曲度
     精確度:0.5um
     重復性精度:0.2um
     測試范圍:200um

 整機參數
     測量時間:<100秒
     最大測量尺寸:8寸
     尺寸:550*602*291mm
     整機功率:800W

 

典型客戶:
藍寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業等。

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